Au-assisted electroless etching of silicon in aqueous HF/H2O2 solution: Fid-Bau Portal

Au-assisted electroless etching of silicon in aqueous HF/H2O2 solution

Megouda, N. / Hadjersi, T. / Piret, G. / Boukherroub, R. / Elkechai, O.

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Titel:

Au-assisted electroless etching of silicon in aqueous HF/H2O2 solution

Beteiligte:

Megouda, N. (Autor:in) / Hadjersi, T. (Autor:in) / Piret, G. (Autor:in) / Boukherroub, R. (Autor:in) / Elkechai, O. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 6210-6216

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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