Spectroscopic ellipsometry of very thin tantalum pentoxide on Si: Fid-Bau Portal

Spectroscopic ellipsometry of very thin tantalum pentoxide on Si

Karmakov, I. / Konova, A. / Atanassova, E. / Paskaleva, A.

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Titel:

Spectroscopic ellipsometry of very thin tantalum pentoxide on Si

Beteiligte:

Karmakov, I. (Autor:in) / Konova, A. (Autor:in) / Atanassova, E. (Autor:in) / Paskaleva, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 9211-9216

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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