Impact of post-deposition annealing on surface, bulk and interface properties of RF sputtered AlN films: Fid-Bau Portal

Impact of post-deposition annealing on surface, bulk and interface properties of RF sputtered AlN films

Kar, J.P. / Mukherjee, S. / Bose, G. / Tuli, S. / Myoung, J.M.

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Titel:

Impact of post-deposition annealing on surface, bulk and interface properties of RF sputtered AlN films

Beteiligte:

Kar, J.P. (Autor:in) / Mukherjee, S. (Autor:in) / Bose, G. (Autor:in) / Tuli, S. (Autor:in) / Myoung, J.M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 25 ; 1023-1027

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0267-0836

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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