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    Titel:

    Nanoscale electrical characterization of ultrathin high-k dielectric MOS stacks: A conducting AFM study

    Beteiligte:

    Uppal, H.J. (Autor:in) / Bernardini, S. (Autor:in) / Efthymiou, E. (Autor:in) / Volkos, S.N. (Autor:in) / Dimoulas, A. (Autor:in) / Markevich, V. (Autor:in) / Hamilton, B. (Autor:in) / Peaker, A.R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 11 ; 250-253

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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