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Surface characterization of plasma-modified resist patterns by ToF-SIMS analysis

Park, J. S. / Kim, H. j.

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Titel:

Surface characterization of plasma-modified resist patterns by ToF-SIMS analysis

Beteiligte:

Park, J. S. (Autor:in) / Kim, H. j. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 1604-1608

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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