Structural properties and electrical characteristics of high-k Tm2Ti2O7 gate dielectrics: Fid-Bau Portal

Structural properties and electrical characteristics of high-k Tm2Ti2O7 gate dielectrics

Pan, T. M. / Yen, L. C.

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Titel:

Structural properties and electrical characteristics of high-k Tm2Ti2O7 gate dielectrics

Beteiligte:

Pan, T. M. (Autor:in) / Yen, L. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 1845-1848

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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