Effect of nitrogen content on phase configuration, nanostructure and mechanical behaviors in magnetron sputtered SiCxNy thin films: Fid-Bau Portal

Effect of nitrogen content on phase configuration, nanostructure and mechanical behaviors in magnetron sputtered SiCxNy thin films

Wang, J. P. / Lu, Y. H. / Shen, Y. G.

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Titel:

Effect of nitrogen content on phase configuration, nanostructure and mechanical behaviors in magnetron sputtered SiCxNy thin films

Beteiligte:

Wang, J. P. (Autor:in) / Lu, Y. H. (Autor:in) / Shen, Y. G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 1955-1960

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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