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Ceramic Target Materials for Sputtering Applications
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Simons, C. (Autor:in) / Kastner, A. (Autor:in) / Kiriakidis, G. (Autor:in) / Chandra, T. / Wanderka, N. / Reimers, W. / Ionescu, M.
01.01.2010
7 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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CERAMIC FILM, SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING SPUTTERING TARGET
Europäisches Patentamt | 2019
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