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    Titel:

    Stabilization of a very high-k crystalline ZrO2 phase by post deposition annealing of atomic layer deposited ZrO2/La2O3 dielectrics on germanium

    Beteiligte:

    Abermann, S. (Autor:in) / Henkel, C. (Autor:in) / Bethge, O. (Autor:in) / Pozzovivo, G. (Autor:in) / Klang, P. (Autor:in) / Bertagnolli, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 5031-5034

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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