EDMR and EPR Studies of 4H SiC MOSFETs and Capacitors: Fid-Bau Portal

EDMR and EPR Studies of 4H SiC MOSFETs and Capacitors

Cochrane, C.J. / Bittel, B.C. / Lenahan, P.M. / Fronheiser, J.A. / Matocha, K. / Lelis, A.J.

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Titel:

EDMR and EPR Studies of 4H SiC MOSFETs and Capacitors

Beteiligte:

Cochrane, C.J. (Autor:in) / Bittel, B.C. (Autor:in) / Lenahan, P.M. (Autor:in) / Fronheiser, J.A. (Autor:in) / Matocha, K. (Autor:in) / Lelis, A.J. (Autor:in) / Bauer, A.J. / Friedrichs, P. / Krieger, M. / Pensl, G.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2009 ; 527-530

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 645/648

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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