Fachinformationsdienst BAUdigital

Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik

    Morphology Improvement of Step Bunching on 4H-SiC Wafers by Polishing Technique

    Neue Suche nach: Kato, T.
    Neue Suche nach: Kinoshita, A.
    Neue Suche nach: Wada, K.
    Neue Suche nach: Nishi, T.
    Neue Suche nach: Hozomi, E.
    Neue Suche nach: Taniguchi, H.
    Neue Suche nach: Fukuda, K.
    Neue Suche nach: Okumura, H.
    Neue Suche nach: Bauer, A.J.
    Neue Suche nach: Friedrichs, P.
    Neue Suche nach: Krieger, M.
    Neue Suche nach: Pensl, G.
    Neue Suche nach: Rupp, R.
    Neue Suche nach: Seyller, T.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Morphology Improvement of Step Bunching on 4H-SiC Wafers by Polishing Technique

    Neue Suche nach: Kato, T.
    Neue Suche nach: Kinoshita, A.
    Neue Suche nach: Wada, K.
    Neue Suche nach: Nishi, T.
    Neue Suche nach: Hozomi, E.
    Neue Suche nach: Taniguchi, H.
    Neue Suche nach: Fukuda, K.
    Neue Suche nach: Okumura, H.
    Neue Suche nach: Bauer, A.J.
    Neue Suche nach: Friedrichs, P.
    Neue Suche nach: Krieger, M.
    Neue Suche nach: Pensl, G.
    Neue Suche nach: Rupp, R.
    Neue Suche nach: Seyller, T.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Morphology Improvement of Step Bunching on 4H-SiC Wafers by Polishing Technique

    Neue Suche nach: Kato, T.
    Neue Suche nach: Kinoshita, A.
    Neue Suche nach: Wada, K.
    Neue Suche nach: Nishi, T.
    Neue Suche nach: Hozomi, E.
    Neue Suche nach: Taniguchi, H.
    Neue Suche nach: Fukuda, K.
    Neue Suche nach: Okumura, H.
    Neue Suche nach: Bauer, A.J.
    Neue Suche nach: Friedrichs, P.
    Neue Suche nach: Krieger, M.
    Neue Suche nach: Pensl, G.
    Neue Suche nach: Rupp, R.
    Neue Suche nach: Seyller, T.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Dokumentinformationen
    Titel:

    Morphology Improvement of Step Bunching on 4H-SiC Wafers by Polishing Technique

    Beteiligte:

    Kato, T. (Autor:in) / Kinoshita, A. (Autor:in) / Wada, K. (Autor:in) / Nishi, T. (Autor:in) / Hozomi, E. (Autor:in) / Taniguchi, H. (Autor:in) / Fukuda, K. (Autor:in) / Okumura, H. (Autor:in) / Bauer, A.J. / Friedrichs, P.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2009 ; 763-766

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 645/648

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

    Ähnliche Titel

    Step-Bunching Dependence of the Lifetime of MOS Capacitor on 4^o Off-Axis Si-Face 4H-SiC Epitaxial Wafers

    Bandoh, A. / Suzuki, K. / Miyasaka, Y. et al. | British Library Online Contents | 2014

    Step bunching in potassium dihydrogen phosphate crystal growth: Phenomenology

    Booth, N. A. / Chernov, A. A. / Vekilov, P. G. | British Library Online Contents | 2002

    Polishing of CVD Diamond Wafers and Films

    Feng, H.B. / Chen, Y.Q. / Zhang, L.C. | British Library Online Contents | 2013

    Polishing Silicon Wafers with the Nanodiamond Abrasive Tools Prepared by Sol-Gel Technique

    Hu, G.Q. / Lu, J. / Xu, X.P. | British Library Online Contents | 2012

    Origin of Giant Step Bunching on 4H-SiC (0001) Surfaces

    Ishida, Y. / Takahashi, T. / Okumura, H. et al. | British Library Online Contents | 2009

    Nach oben