Polishing Silicon Wafers with the Nanodiamond Abrasive Tools Prepared by Sol-Gel Technique: Fid-Bau Portal

Polishing Silicon Wafers with the Nanodiamond Abrasive Tools Prepared by Sol-Gel Technique

Hu, G.Q. / Lu, J. / Xu, X.P.

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Titel:

Polishing Silicon Wafers with the Nanodiamond Abrasive Tools Prepared by Sol-Gel Technique

Beteiligte:

Hu, G.Q. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in) / Xu, X.P. (Autor:in) / Morgan, M.N. / Shaw, A. / Mgaloblishvili, O.

Erschienen in:

Precision Machining VI ; 1-6

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 496

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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