Deposition and electrostatic removal of gaseous organic contaminants on substrate surfaces: Fid-Bau Portal

Deposition and electrostatic removal of gaseous organic contaminants on substrate surfaces

Shiue, A. / Tien, D. C. / Den, W. / Hu, S. C. / Hsu, C. S.

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Titel:

Deposition and electrostatic removal of gaseous organic contaminants on substrate surfaces

Beteiligte:

Shiue, A. (Autor:in) / Tien, D. C. (Autor:in) / Den, W. (Autor:in) / Hu, S. C. (Autor:in) / Hsu, C. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 6113-6116

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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