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    Titel:

    Characterization of Silicon Wafer Surface Irradiated with Fiber Laser

    Beteiligte:

    Farrokhi, H. (Autor:in) / Zhou, W. (Autor:in) / Zheng, H.Y. (Autor:in) / Li, Z.L. (Autor:in) / Zhao, J. / Kunieda, M. / Yang, G. / Yuan, X.-M.

    Erschienen in:

    Advances in Precision Engineering ; 715-719

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 447/448

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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