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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Probing buried interfaces on Ge-based metal gate/high-k stacks by hard X-ray photoelectron spectroscopy

    Beteiligte:

    Rubio-Zuazo, J. (Autor:in) / Martinez, E. (Autor:in) / Batude, P. (Autor:in) / Clavelier, L. (Autor:in) / Chabli, A. (Autor:in) / Castro, G. R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 3007-3013

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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