Built-in interface in high-k gate stacks: Fid-Bau Portal

Built-in interface in high-k gate stacks

Hiratani, M. / Torii, K. / Shimamoto, Y. / Saito, S. I.

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Titel:

Built-in interface in high-k gate stacks

Beteiligte:

Hiratani, M. (Autor:in) / Torii, K. (Autor:in) / Shimamoto, Y. (Autor:in) / Saito, S. I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 216 ; 208-214

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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