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Growth of SiCN films by magnetron sputtering

Wei, J. / Gao, Y. / Zhang, D. H. / Hing, P. / Mo, Z. Q.

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Titel:

Growth of SiCN films by magnetron sputtering

Beteiligte:

Wei, J. (Autor:in) / Gao, Y. (Autor:in) / Zhang, D. H. (Autor:in) / Hing, P. (Autor:in) / Mo, Z. Q. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 16 ; 225-228

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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