Molecular dynamics simulations of the sputtering process of silicon and the homoepitaxial growth of a Si coating on silicon: Fid-Bau Portal

Molecular dynamics simulations of the sputtering process of silicon and the homoepitaxial growth of a Si coating on silicon

Prskalo, A. P. / Schmauder, S. / Ziebert, C. / Ye, J. / Ulrich, S.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Molecular dynamics simulations of the sputtering process of silicon and the homoepitaxial growth of a Si coating on silicon

Prskalo, A. P. / Schmauder, S. / Ziebert, C. / Ye, J. / Ulrich, S.

Molecular dynamics simulations of the sputtering process of silicon and the homoepitaxial growth of a Si coating on silicon

Prskalo, A. P. / Schmauder, S. / Ziebert, C. / Ye, J. / Ulrich, S.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Molecular dynamics simulations of the sputtering process of silicon and the homoepitaxial growth of a Si coating on silicon

Beteiligte:

Prskalo, A. P. (Autor:in) / Schmauder, S. (Autor:in) / Ziebert, C. (Autor:in) / Ye, J. (Autor:in) / Ulrich, S. (Autor:in)

Erschienen in:

COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 50 ; 1320-1325

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0927-0256

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 510

Reinig, P. / Fenske, F. / Selle, B. et al. | British Library Online Contents | 2004

Homoepitaxial Growth of Cubic Silicon Carbide by Sublimation Epitaxy

Furusho, T. / Miyanagi, T. / Okui, Y. et al. | British Library Online Contents | 2002

Plasma cleaning of carbon species for silicon homoepitaxial growth

Kim, H. W. / Hwang, W. S. / Lee, C. et al. | British Library Online Contents | 2003

Homoepitaxial Growth of 4H-SiC Using a Chlorosilane Silicon Precursor

MacMillan, M. F. / Loboda, M. J. / Chung, G. et al. | British Library Online Contents | 2006

Single-step fabrication of homoepitaxial silicon nanocones by molecular beam epitaxy

Colniţă, Alia / Marconi, Daniel / Brătfălean, Radu Tiberiu et al. | British Library Online Contents | 2018

Nach oben