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Interfacial reaction and electrical characteristics of Cu(RuTaNx) on GaAs: Annealing effects

Leau, W. K. / Chu, J. P. / Lin, C. H.

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Titel:

Interfacial reaction and electrical characteristics of Cu(RuTaNx) on GaAs: Annealing effects

Beteiligte:

Leau, W. K. (Autor:in) / Chu, J. P. (Autor:in) / Lin, C. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 7286-7290

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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