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Characterizations of NbAlO thin films grown by atomic layer deposition

Liu, J. / Xu, Y. / Sun, Q. / Lu, H. / Zhang, D. W.

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Titel:

Characterizations of NbAlO thin films grown by atomic layer deposition

Beteiligte:

Liu, J. (Autor:in) / Xu, Y. (Autor:in) / Sun, Q. (Autor:in) / Lu, H. (Autor:in) / Zhang, D. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 65 ; 2182-2184

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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