SnO2 thin films grown by atomic layer deposition using a novel Sn precursor: Fid-Bau Portal

SnO2 thin films grown by atomic layer deposition using a novel Sn precursor

Choi, M. J. / Cho, C. J. / Kim, K. C. / Pyeon, J. J. / Park, H. H. / Kim, H. S. / Han, J. H. / Kim, C. G. / Chung, T. M. / Park, T. J.

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Titel:

SnO2 thin films grown by atomic layer deposition using a novel Sn precursor

Beteiligte:

Choi, M. J. (Autor:in) / Cho, C. J. (Autor:in) / Kim, K. C. (Autor:in) / Pyeon, J. J. (Autor:in) / Park, H. H. (Autor:in) / Kim, H. S. (Autor:in) / Han, J. H. (Autor:in) / Kim, C. G. (Autor:in) / Chung, T. M. (Autor:in) / Park, T. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 320 ; 188-194

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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