Nanomechanical characteristics of annealed Si/SiGe superlattices: Fid-Bau Portal

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Nanomechanical characteristics of annealed Si/SiGe superlattices

Wu, M. J. / Wen, H. C. / Wu, S. C. / Yang, P. F. / Lai, Y. S. / Hsu, W. K. / Wu, W. F. / Chou, C. P.

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Titel:

Nanomechanical characteristics of annealed Si/SiGe superlattices

Beteiligte:

Wu, M. J. ( Autor:in ) / Wen, H. C. ( Autor:in ) / Wu, S. C. ( Autor:in ) / Yang, P. F. ( Autor:in ) / Lai, Y. S. ( Autor:in ) / Hsu, W. K. ( Autor:in ) / Wu, W. F. ( Autor:in ) / Chou, C. P. ( Autor:in )

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 8887-8893

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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