Nanomechanical properties of thick porous silicon layers grown on p- and p+-type bulk crystalline Si: Fid-Bau Portal

Nanomechanical properties of thick porous silicon layers grown on p- and p+-type bulk crystalline Si

Charitidis, C. A. / Skarmoutsou, A. / Nassiopoulou, A. G. / Dragoneas, A.

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Titel:

Nanomechanical properties of thick porous silicon layers grown on p- and p+-type bulk crystalline Si

Beteiligte:

Charitidis, C. A. (Autor:in) / Skarmoutsou, A. (Autor:in) / Nassiopoulou, A. G. (Autor:in) / Dragoneas, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 528 ; 8715-8722

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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