Preparation of silane modified SiO2 abrasive particles and their Chemical Mechanical Polishing (CMP) performances: Fid-Bau Portal

Preparation of silane modified SiO2 abrasive particles and their Chemical Mechanical Polishing (CMP) performances

Pan, G. / Gu, Z. / Zhou, Y. / Li, T. / Gong, H. / Liu, Y.

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Titel:

Preparation of silane modified SiO2 abrasive particles and their Chemical Mechanical Polishing (CMP) performances

Beteiligte:

Pan, G. (Autor:in) / Gu, Z. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Li, T. (Autor:in) / Gong, H. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

WEAR -LAUSANNE- ; 273 ; 100-104

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0043-1648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11292

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