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    Titel:

    Annealing effects of tantalum thin films sputtered on [001] silicon substrate

    Beteiligte:

    Liu, L. (Autor:in) / Gong, H. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Wang, J. (Autor:in) / Wee, A. T. (Autor:in) / Liu, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 16 ; 85-89

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0928-4931

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 660

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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