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Influence of environmental humidity on plasma etching polyamide 6 films

Gao, Z.

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Titel:

Influence of environmental humidity on plasma etching polyamide 6 films

Beteiligte:

Gao, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 5574-5578

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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