A Silicon Micro-Accelerometer with Triangle Cross-Section Beam by Anisotropic Wet Etching in TMAH Solution: Fid-Bau Portal

A Silicon Micro-Accelerometer with Triangle Cross-Section Beam by Anisotropic Wet Etching in TMAH Solution

Lv, Y. / Cui, H.J. / Dong, P.T. / Chen, Z.H. / Wu, X.Z.

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Titel:

A Silicon Micro-Accelerometer with Triangle Cross-Section Beam by Anisotropic Wet Etching in TMAH Solution

Beteiligte:

Lv, Y. (Autor:in) / Cui, H.J. (Autor:in) / Dong, P.T. (Autor:in) / Chen, Z.H. (Autor:in) / Wu, X.Z. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 151-155

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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