Simplified process for dot sequential lateral solidification of sputtered amorphous silicon thin films: Fid-Bau Portal

Simplified process for dot sequential lateral solidification of sputtered amorphous silicon thin films

Liu, C. / Jia, X. / Ai, B. / Duan, C. / Shen, H.

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Titel:

Simplified process for dot sequential lateral solidification of sputtered amorphous silicon thin films

Beteiligte:

Liu, C. (Autor:in) / Jia, X. (Autor:in) / Ai, B. (Autor:in) / Duan, C. (Autor:in) / Shen, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 84 ; 88-90

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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