Fabrication of Ultrathin Bragg Beam Splitter by Plasma Chemical Vaporization Machining: Fid-Bau Portal

Fabrication of Ultrathin Bragg Beam Splitter by Plasma Chemical Vaporization Machining

Osaka, T. / Yabashi, M. / Sano, Y. / Tono, K. / Inubushi, Y. / Sato, T. / Matsuyama, S. / Ishikawa, T. / Yamauchi, K.

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Titel:

Fabrication of Ultrathin Bragg Beam Splitter by Plasma Chemical Vaporization Machining

Beteiligte:

Osaka, T. (Autor:in) / Yabashi, M. (Autor:in) / Sano, Y. (Autor:in) / Tono, K. (Autor:in) / Inubushi, Y. (Autor:in) / Sato, T. (Autor:in) / Matsuyama, S. (Autor:in) / Ishikawa, T. (Autor:in) / Yamauchi, K. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 523/524 ; 40-45

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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