Synthesis and characterization of multi-element oxynitride semiconductor film prepared by reactive sputtering deposition: Fid-Bau Portal

Synthesis and characterization of multi-element oxynitride semiconductor film prepared by reactive sputtering deposition

Yu, R. S. / Huang, R. H. / Lee, C. M. / Shieu, F. S.

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Titel:

Synthesis and characterization of multi-element oxynitride semiconductor film prepared by reactive sputtering deposition

Beteiligte:

Yu, R. S. (Autor:in) / Huang, R. H. (Autor:in) / Lee, C. M. (Autor:in) / Shieu, F. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 263 ; 58-61

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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