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    Titel:

    Influence of the sputtering reactive gas on the oxide and oxynitride La?Ti?O?N deposition by RF magnetron sputtering

    Beteiligte:

    Lu, Y. (Autor:in) / Le Paven-Thivet, C. (Autor:in) / Benzerga, R. (Autor:in) / Le Gendre, L. (Autor:in) / Sharaiha, A. (Autor:in) / Tessier, F. (Autor:in) / Chevire, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 264 ; 533-537

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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