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    Titel:

    Effects of pulse bias on structure and properties of silicon/nitrogen-incorporated diamond-like carbon films prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition

    Beteiligte:

    Nakazawa, H. (Autor:in) / Miura, S. (Autor:in) / Kamata, R. (Autor:in) / Okuno, S. (Autor:in) / Suemitsu, M. (Autor:in) / Abe, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 264 ; 625-632

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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