Influence of thermal treatment on the formation of ohmic contacts based on Ti/Al/Ni/Au metallization to n-type AlGaN/GaN heterostructures: Fid-Bau Portal

Influence of thermal treatment on the formation of ohmic contacts based on Ti/Al/Ni/Au metallization to n-type AlGaN/GaN heterostructures

Macherzyński, W. / Paszkiewicz, B. / Vincze, A. / Paszkiewicz, R. / Tłaczała, M. / Kováč, J.

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Titel:

Influence of thermal treatment on the formation of ohmic contacts based on Ti/Al/Ni/Au metallization to n-type AlGaN/GaN heterostructures

Beteiligte:

Macherzyński, W. (Autor:in) / Paszkiewicz, B. (Autor:in) / Vincze, A. (Autor:in) / Paszkiewicz, R. (Autor:in) / Tłaczała, M. (Autor:in) / Kováč, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE -WROCLAW- ; 30 ; 342-347

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0137-1339

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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