Structure and optical properties of boron nitride thin films prepared by PECVD: Fid-Bau Portal

Structure and optical properties of boron nitride thin films prepared by PECVD

Abdellaoui, A. / Bath, A. / Bouchikhi, B. / Baehr, O.

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Titel:

Structure and optical properties of boron nitride thin films prepared by PECVD

Beteiligte:

Abdellaoui, A. (Autor:in) / Bath, A. (Autor:in) / Bouchikhi, B. (Autor:in) / Baehr, O. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 47 ; 257-262

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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