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Neural network modeling of PECVD silicon nitride films

Ghosh, S. / Dutta, P.K. / Bose, D.N.

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Titel:

Neural network modeling of PECVD silicon nitride films

Beteiligte:

Ghosh, S. (Autor:in) / Dutta, P.K. (Autor:in) / Bose, D.N. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 2 ; 1-11

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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