Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Surface Preparation of 4^o Off-Axis 4H-SiC Substrate for Epitaxial Growth
Surface Preparation of 4^o Off-Axis 4H-SiC Substrate for Epitaxial Growth
Surface Preparation of 4^o Off-Axis 4H-SiC Substrate for Epitaxial Growth
Li, X. (Autor:in) / Hassan, J.U. (Autor:in) / Kordina, O. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Lebedev, A.A. / Davydov, S.Y. / Ivanov, P.A. / Levinshtein, M.E.
01.01.2013
4 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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Surface Morphology Evolution after Epitaxial Growth on 4^o Off-Axis 4H-SiC Substrate
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4H-SiC Epitaxial Layers Grown on On-Axis Si-Face Substrate
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