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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Innovative 3C-SiC on SiC via Direct Wafer Bonding

    Beteiligte:

    Jennings, M.R. (Autor:in) / Perez-Tomas, A. (Autor:in) / Severino, A. (Autor:in) / Ward, P. (Autor:in) / Bashir, A. (Autor:in) / Fisher, C. (Autor:in) / Thomas, S.M. (Autor:in) / Gammon, P.M. (Autor:in) / Donnellan, B.T. (Autor:in) / Rong, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2012 Selected, peer reviewed papers from the 9th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM 2012), September 2-6, 2012, St. Petersburg, Russian Federation ; 271-274

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 740/742

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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