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Impurity engineering of Czochralski silicon

Yu, X. / Chen, J. / Ma, X. / Yang, D.

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Titel:

Impurity engineering of Czochralski silicon

Beteiligte:

Yu, X. (Autor:in) / Chen, J. (Autor:in) / Ma, X. (Autor:in) / Yang, D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING R REPORTS -LAUSANNE- ; 74 ; 1-33

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

33 pages

ISSN:

0927-796X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 530

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