Impurity-vacancy defects in implanted float-zone and Czochralski-Si: Fid-Bau Portal

Impurity-vacancy defects in implanted float-zone and Czochralski-Si

Xu, J. / Mills, A.P. / Suzuki, R. / Roth, E.G. / Holland, O.W.

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Titel:

Impurity-vacancy defects in implanted float-zone and Czochralski-Si

Beteiligte:

Xu, J. (Autor:in) / Mills, A.P. (Autor:in) / Suzuki, R. (Autor:in) / Roth, E.G. (Autor:in) / Holland, O.W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 149 ; 193-197

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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