Fachinformationsdienst BAUdigital

Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik

    Nanopore Formation on SOI(100) by CH~3SiH~3 Pulse Jet CVD: SiC Growth Temperature Dependence

    Neue Suche nach: Ikoma, Y.
    Neue Suche nach: Nishino, Y.
    Neue Suche nach: Anan, S.
    Neue Suche nach: Abe, T.
    Neue Suche nach: Sakita, H.
    Neue Suche nach: Zhu, S.
    Neue Suche nach: Ni, B.
    Neue Suche nach: Ju, D.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Nanopore Formation on SOI(100) by CH~3SiH~3 Pulse Jet CVD: SiC Growth Temperature Dependence

    Neue Suche nach: Ikoma, Y.
    Neue Suche nach: Nishino, Y.
    Neue Suche nach: Anan, S.
    Neue Suche nach: Abe, T.
    Neue Suche nach: Sakita, H.
    Neue Suche nach: Zhu, S.
    Neue Suche nach: Ni, B.
    Neue Suche nach: Ju, D.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Nanopore Formation on SOI(100) by CH~3SiH~3 Pulse Jet CVD: SiC Growth Temperature Dependence

    Neue Suche nach: Ikoma, Y.
    Neue Suche nach: Nishino, Y.
    Neue Suche nach: Anan, S.
    Neue Suche nach: Abe, T.
    Neue Suche nach: Sakita, H.
    Neue Suche nach: Zhu, S.
    Neue Suche nach: Ni, B.
    Neue Suche nach: Ju, D.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Dokumentinformationen
    Titel:

    Nanopore Formation on SOI(100) by CH~3SiH~3 Pulse Jet CVD: SiC Growth Temperature Dependence

    Beteiligte:

    Ikoma, Y. (Autor:in) / Nishino, Y. (Autor:in) / Anan, S. (Autor:in) / Abe, T. (Autor:in) / Sakita, H. (Autor:in) / Zhu, S. / Ni, B. / Ju, D.

    Erschienen in:

    Advanced Materials Science and Technology ; 252-255

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 750

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

    Ähnliche Titel

    Formation of Nanocrystalline Si by Au-Catalyzed CH~3SiH~3 Pulse Jet CVD

    Abe, T. / Anan, S. / Watanabe, F. et al. | British Library Online Contents | 2013

    High Purity SiC Epitaxial Growth by Chemical Vapor Deposition Using CH~3SiH~3 and C~3H~8 Sources

    Hatayama, T. / Yano, H. / Uraoka, Y. et al. | British Library Online Contents | 2006

    Formation of SiC/Si Multilayer Structures on Si(100) by Supersonic Free Jets of Single Gas Source CH~3SiH~3

    Ikoma, Y. / Ohtani, R. / Motooka, T. | British Library Online Contents | 2004

    Ion-beam pore opening of porous anodic alumina: The formation of single nanopore and nanopore arrays

    Lillo, M. / Losic, D. | British Library Online Contents | 2009

    Growth of Patterned Nanopore Arrays of Anodic Aluminum Oxide

    Yan, J. / Rao, G. V. R. / Barela, M. et al. | British Library Online Contents | 2003

    Nach oben