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    Titel:

    Extended study of the atomic step-terrace structure on hexagonal SiC (0001) by chemical-mechanical planarization

    Beteiligte:

    Shi, X. (Autor:in) / Pan, G. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Zou, C. (Autor:in) / Gong, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 284 ; 195-206

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    12 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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