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    Titel:

    MEMS Monolithic Integration Technology

    Beteiligte:

    Zhang, Z.Y. (Autor:in) / Shi, Z.G. (Autor:in) / Yang, Z.C. (Autor:in) / Peng, B. (Autor:in) / Tang, F.

    Erschienen in:

    Micro-Nano Technology XIV ; 1387-1392

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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