The Electrical and Optical Properties of Fe-O-N Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering: Fid-Bau Portal

The Electrical and Optical Properties of Fe-O-N Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Ogawa, Y. / Ando, D. / Sutou, Y. / Koike, J.

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Titel:

The Electrical and Optical Properties of Fe-O-N Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Ogawa, Y. (Autor:in) / Ando, D. (Autor:in) / Sutou, Y. (Autor:in) / Koike, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 54 ; 2055-2058

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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