Optical and electrical properties of Ti(Cr)O2:N thin films deposited by magnetron co-sputtering: Fid-Bau Portal

Optical and electrical properties of Ti(Cr)O2:N thin films deposited by magnetron co-sputtering

Kollbek, K. / Szkudlarek, A. / Marzec, M. M. / Lyson-Sypien, B. / Cecot, M. / Bernasik, A. / Radecka, M. / Zakrzewska, K.

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Kollbek, K. / Szkudlarek, A. / Marzec, M. M. / Lyson-Sypien, B. / Cecot, M. / Bernasik, A. / Radecka, M. / Zakrzewska, K.

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Kollbek, K. / Szkudlarek, A. / Marzec, M. M. / Lyson-Sypien, B. / Cecot, M. / Bernasik, A. / Radecka, M. / Zakrzewska, K.

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Titel:

Optical and electrical properties of Ti(Cr)O2:N thin films deposited by magnetron co-sputtering

Beteiligte:

Kollbek, K. (Autor:in) / Szkudlarek, A. (Autor:in) / Marzec, M. M. (Autor:in) / Lyson-Sypien, B. (Autor:in) / Cecot, M. (Autor:in) / Bernasik, A. (Autor:in) / Radecka, M. (Autor:in) / Zakrzewska, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 380 ; 73-82

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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