Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films: Fid-Bau Portal

Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films

White, N. / Campbell, A. L. / Grant, J. T. / Pachter, R. / Eyink, K. / Jakubiak, R. / Martinez, G. / Ramana, C. V.

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Titel:

Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films

Beteiligte:

White, N. (Autor:in) / Campbell, A. L. (Autor:in) / Grant, J. T. (Autor:in) / Pachter, R. (Autor:in) / Eyink, K. (Autor:in) / Jakubiak, R. (Autor:in) / Martinez, G. (Autor:in) / Ramana, C. V. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 292 ; 74-85

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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