Nitrogen pulsing to modify the properties of titanium nitride thin films sputter deposited: Fid-Bau Portal

Nitrogen pulsing to modify the properties of titanium nitride thin films sputter deposited

Martin, N. / Lintymer, J. / Gavoille, J. / Takadoum, J.

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Titel:

Nitrogen pulsing to modify the properties of titanium nitride thin films sputter deposited

Beteiligte:

Martin, N. (Autor:in) / Lintymer, J. (Autor:in) / Gavoille, J. (Autor:in) / Takadoum, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 37 ; 4327-4332

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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