A Multi-Technique Study of Titanium Nitride Films Deposited via Reactive Sputter Deposition: Fid-Bau Portal

A Multi-Technique Study of Titanium Nitride Films Deposited via Reactive Sputter Deposition

Walker, C. G. H. / Morton, S. A. / Charnock, J. M. / MacLean, E. J. / Brown, N. M. D.

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Titel:

A Multi-Technique Study of Titanium Nitride Films Deposited via Reactive Sputter Deposition

Beteiligte:

Walker, C. G. H. (Autor:in) / Morton, S. A. (Autor:in) / Charnock, J. M. (Autor:in) / MacLean, E. J. (Autor:in) / Brown, N. M. D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 325/326 ; 131-140

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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