Improved Epilayer Surface Morphology on 2^o Off-Cut 4H-SiC Substrates: Fid-Bau Portal

Improved Epilayer Surface Morphology on 2^o Off-Cut 4H-SiC Substrates

Lilja, L. / Hassan, J.u. / Janzen, E. / Bergman, P.

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Titel:

Improved Epilayer Surface Morphology on 2^o Off-Cut 4H-SiC Substrates

Beteiligte:

Lilja, L. (Autor:in) / Hassan, J.u. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in) / Bergman, P. (Autor:in) / Okumura, H. / Harima, H. / Kimoto, T. / Yoshimoto, M. / Watanabe, H. / Hatayama, T.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2013 PART 1 Selected, peer reviewed papers from the 15^t^h International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, (ICSCRM 2013), September 29 - October 4, 2013, Miyazaki, Japan ; 206-209

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 778/780

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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