Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO"2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor: Fid-Bau Portal

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO"2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor

Kanomata, K. / Pansila, P. / Ahmmad, B. / Kubota, S. / Hirahara, K. / Hirose, F.

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Titel:

Infrared study on room-temperature atomic layer deposition of TiO"2 using tetrakis(dimethylamino)titanium and remote-plasma-excited water vapor

Beteiligte:

Kanomata, K. (Autor:in) / Pansila, P. (Autor:in) / Ahmmad, B. (Autor:in) / Kubota, S. (Autor:in) / Hirahara, K. (Autor:in) / Hirose, F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 308 ; 328-332

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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