Surface Roughness in Alumina Thin Film Deposited on Silica Using Oblique Incidence: Fid-Bau Portal

Surface Roughness in Alumina Thin Film Deposited on Silica Using Oblique Incidence

He, L.J. / Li, C. / Liu, X.Z.

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Titel:

Surface Roughness in Alumina Thin Film Deposited on Silica Using Oblique Incidence

Beteiligte:

He, L.J. (Autor:in) / Li, C. (Autor:in) / Liu, X.Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 787 ; 373-377

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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